ЕТКС. Аппаратчик по химической обработке полупроводниковых материалов


ЕТКСЕдиный тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих
Выпуск 20Полупроводниковое производство
  § 9Аппаратчик по химической обработке полупроводниковых материалов

2 - 4 разряды

Характеристика работ. Ведение процесса химической обработки металла, технологической оснастки, кварцевых изделий, тары в кислотах, щелочах и смеси кислот. Подготовка к травлению и сушка металла и изделий. Перегонка кислот, подготовка растворов кислот, щелочей и солей требуемой концентрации. Подготовка, наладка и обслуживание аппаратуры для химической обработки металла, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации. Ведение технической документации. Постоянное поддержание чистоты на рабочем месте. Участие в ремонте обслуживаемого оборудования.

Должен знать: технологию химической обработки исходных материалов, полупродуктов, полупроводниковых материалов и материалов интерметаллических соединений; виды и свойства кислот, щелочей, солей и других реактивов и материалов, применяемых для химической обработки, правила обращения с ними и хранения; причины брака, меры предупреждения и устранения его; физико-химические свойства сырья, готовой продукции, вспомогательных материалов; технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию, вспомогательные материалы; правила работы с высокочистыми материалами; технологическую схему производства; основы физики, химии, химии чистых веществ в объеме программы средней школы; технологические карты и рабочие инструкции.

При выполнении вспомогательных работ по химической обработке полупроводниковых материалов, материалов интерметаллических соединений; при химической обработке технологической оснастки и тары - 2-й разряд.

При химической обработке полупроводниковых материалов и материалов интерметаллических соединений; приготовлении исходных растворов для химической обработки; перегонке кислот - 3-й разряд.

При сложной химической обработке в двух и более травителях - 4-й разряд.