ЕТКС | Единый тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих |
Выпуск 20 | Полупроводниковое производство |
§ 3 | Оптик элементов квантовых приборов (2-й разряд, 3-й разряд, 4-й разряд, 5-й разряд, 6-й разряд, 7-й разряд) |
Характеристика работ. Полное изготовление деталей из стекла и кристаллов различной конфигурации (линзы, пластины и клинья с фокусностью 10 - 20 км, многогранные призмы) размером до 100 мм с качеством поверхности по общим ошибкам 0,5 - 1 кольцо, местным - менее 0,5 кольца и размером 100 - 300 мм с качеством поверхности по общим ошибкам 2 - 5 колец с допусками на линейные размеры менее 0,2 мм, на клиновидность для пластин, на углы для призм и клиньев, на параллельность граней и пирамидальность призм - менее 3 минут, на косину для линз - 0,1 - 0,2 мм, децентрировку 0,05 мм, на угол крыши - 5 - 10 секунд, разрешающую силу - 12 - 22 секунды. Изготовление эталонных, пробных стекол диаметром до 80 мм. Шлифование и полирование сложных пластин по 4 - 7 квалитетам с ориентацией оптической оси с точностью до 1 град. Изготовление пластин на вращающейся планшайбе с соблюдением допусков по толщине +/- 0,002 мм и по контуру +/- 0,005 мм. Шлифование фасок толщиной до 0,1 мм. Полирование фасок пластин различных сечений и конфигураций. Подшлифовка пластин в одной плоскости с точностью до 40 минут. Контроль размеров пластин с помощью оптического оборудования. Настройка шлифовально-полировальных и центрировочных станков различных систем. Настройка приборов для проверки угловых и линейных размеров.
Должен знать: устройство шлифовально-полировальных и центрировочных станков разных систем, управление ими и правила настройки их; правила настройки приборов для проверки линейных и угловых размеров; маркировку, характер кристаллов и их строение; систему допусков и посадок; правила проверки разрешающей силы на приборе; способы повышения качества обрабатываемых изделий.
Примеры работ
1. Зеркала металлические (сплав 3240 ГОСТ 10994-64) - шлифовка, полировка с одной стороны до диаметра 110 мм с качеством поверхности по общим ошибкам 2...5 колец, местным ошибкам - 0,5 кольца.
2. Клинья размером 77 x 50 мм - полное изготовление с подгонкой толщины в размер 8 +/- 0,3 мм с допусками на качество поверхности по общим ошибкам - 1 кольцо, местным - 0,2 кольца, на углы - 15 секунд.
3. Линзы плосковыпуклые диаметром 73 мм - полное изготовление с подгонкой толщины по центру в размер 5 +/- 0,3 мм с допусками на качество поверхности по общим ошибкам - 1 кольцо, местным - 0,2 кольца, на косину - 0,01 мм.
4. Ориентированные образцы монокристаллов с допуском на углы +/- 30 минут - доводка.
5. Пластины из синтетических монокристаллов с допусками по толщине +/- 0,002 мм и по контуру +/- 0,005 мм, с точностью ориентации оптической оси +/- 20 минут - доводка.
6. Пластины для квантовых приборов с допуском на клиновидность от 30 секунд до 3 секунд - доводка.
7. Призмы размерами 22,5 x 15,3 +/- 0,3 x 22,5 мм - полное изготовление с допусками на качество поверхности по общим ошибкам 0,5 - 1 кольцо, местным - 0,2 - 0,5 кольца, на разность углов - 2 минуты, на пирамидальность - 3 минуты, на углы +/- 3 секунды.
8. Призмы крышеобразные размерами 25 x 18С4 x 11,8 мм - полное изготовление с допусками на линейные размеры +/- 0,1 мм, на качество поверхности по общим ошибкам - 1 - 3 кольца, местным - 0,2 - 1 кольцо, на углы +/- 5 секунд, на угол крыши +/- 30 секунд, на смещение сферы не более 0,002 мм.